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半自動反轉(zhuǎn)式擴膜機DM-DE1080T
一、主要技術(shù)參數(shù)
1).設(shè)備為8寸臺式設(shè)備，采用雙控一鍵式擴膜方式，使用觸摸屏進行參數(shù)參數(shù)
設(shè)定；
2).適用于8寸及以下晶圓的擴膜工藝；
3).適用于8寸DISCO標準貼片環(huán)（參考客戶提供樣品）。
4).設(shè)備的擴膜誤差: ±2mm，擴張范圍6寸擴張至8寸（max），擴張范圍及速度可????????????????????調(diào)；
5).設(shè)備為向下擴膜方式，配置去靜電裝置（離子棒方式）；
6).擴膜盤配置加熱裝置，加熱范圍：室溫～80℃，連續(xù)可調(diào)；控溫精度：≤±2℃；
7).標準用膜為UV膜或藍膜；
8).設(shè)備外形尺寸約: 長×寬×高：?500mm×650mm×700mm，重量約：55kg；
9).設(shè)備使用AC220V/50Hz電源，額定功率約：700W；
10).設(shè)備需配置0.4-0.7Mpa壓縮空氣；
11).配置一個接塵盤；
二、反轉(zhuǎn)式擴膜機照片
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