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產(chǎn) 品 介 紹
一、產(chǎn)品名稱：12寸自動二流體清洗機(jī)(DM-CS1120-F)
二、技術(shù)規(guī)格：??
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序 號 |
內(nèi) ?容 |
參 數(shù) |
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1 |
設(shè)備型號 |
DM-CS1120-F |
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2 |
額定電壓 |
AC 220V |
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3 |
頻率 |
50HZ |
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4 |
工作滿載電流 |
30A |
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5 |
動力電源線 |
2.52以上 |
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6 |
純凈水壓力 |
0.25Mpa |
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7 |
壓縮空氣壓力 |
0.5~0.7MPa |
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8 |
主軸轉(zhuǎn)速 |
401r/min～3000 r/min |
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9 |
清洗時間 |
5s～999s |
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10 |
氮?dú)獾墓┙o壓力 |
0.5Mpa以上 |
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11 |
整機(jī)尺寸 |
1100mm*600mm*1510mm |
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12 |
產(chǎn)品規(guī)格 |
12寸以及12寸以下 |
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13 |
****功率 |
3.3KW |
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14 |
額定功率 |
1.1KW |
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15 |
清洗功能 |
全自動式 |
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.外觀簡潔大方,整機(jī)采用PLC系統(tǒng)控制，易于操作，性能穩(wěn)定；
2.功能：通過噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過更改參數(shù)自動適應(yīng)3、4、5、6、8、12英寸的晶圓以及其它半導(dǎo)體產(chǎn)品；
4.適用于非標(biāo)方形鐵片環(huán)使用。
5.出水壓力可調(diào)，范圍：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；
6.主電機(jī)采用AC變頻電機(jī)，擺臂電機(jī)采用伺服電機(jī)。
7.可分開調(diào)節(jié)噴水和噴氣時主軸旋轉(zhuǎn)速度，范圍：0~3000 rpm；
8. 采用彩色觸摸屏作為人機(jī)操作界面；
9.噴頭噴灑范圍可自動根據(jù)設(shè)定的晶圓大小調(diào)節(jié)，無需人工干預(yù)；
10.具有氣體壓力和出水壓力調(diào)節(jié)功能；
11.具有氮?dú)廨斎虢涌冢?/P>
12.具有“緊急停止”功能；
13.具有系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控和設(shè)備故障報警功能；
14.適應(yīng)框架（Frame）：非標(biāo)方形Frame（客戶提供樣品）
15.電器部分采用SMC、, Misumi、西門子、三菱等國外知名品牌產(chǎn)品，系統(tǒng)可靠；
四、產(chǎn)品功能：
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1.二流體的主要功能是氮?dú)饧蛹兯逑矗逑春笥玫獨(dú)馑Ω伞?/P>
??2.二流體的工作原理：?主要有清洗和甩干兩個功能、?清洗方式是氮?dú)饧蛹兯旌锨逑矗瑲夂退幕旌媳壤强梢哉{(diào)節(jié)、?甩干是用氮?dú)獯蹈伞?/P>
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五:產(chǎn)品功能照片介紹：
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★ 二流體自動清洗機(jī)是上海鼎滿機(jī)械設(shè)備有限公司自行研發(fā)及制造，相對于昂貴的進(jìn)口產(chǎn)品,在價格方面有著相對優(yōu)勢。強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊；合理的設(shè)計；讓設(shè)備的使用更人性化,更簡潔化；且設(shè)備中所涉及到的電器配件均采用進(jìn)口以及國內(nèi)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，更好的保障了設(shè)備在使用過程中的出色與安全。
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