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12寸自動二流體清洗機(jī)

產(chǎn) 品 介 紹

一、產(chǎn)品名稱:12寸自動二流體清洗機(jī)(DM-CS1120-F)

二、技術(shù)規(guī)格:??

序 號

內(nèi) ?容

參 數(shù)

1

設(shè)備型號

DM-CS1120-F

2

額定電壓

AC 220V

3

頻率

50HZ

4

工作滿載電流

30A

5

動力電源線

2.52以上

6

純凈水壓力

0.25Mpa

7

壓縮空氣壓力

0.5~0.7MPa

8

主軸轉(zhuǎn)速

401r/min~3000 r/min

9

清洗時間

5s~999s

10

氮?dú)獾墓┙o壓力

0.5Mpa以上

11

整機(jī)尺寸

1100mm*600mm*1510mm

12

產(chǎn)品規(guī)格

12寸以及12寸以下

13

****功率

3.3KW

14

額定功率

1.1KW

15

清洗功能

全自動式

三、產(chǎn)品特點(diǎn):

1.外觀簡潔大方,整機(jī)采用PLC系統(tǒng)控制,易于操作,性能穩(wěn)定;

2.功能:通過噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。

3.通過更改參數(shù)自動適應(yīng)3、4、5、6、8、12英寸的晶圓以及其它半導(dǎo)體產(chǎn)品;

4.適用于非標(biāo)方形鐵片環(huán)使用。

5.出水壓力可調(diào),范圍:2.0~11.8MPa(20 ~ 120 kgf/cm2);

6.主電機(jī)采用AC變頻電機(jī),擺臂電機(jī)采用伺服電機(jī)。

7.可分開調(diào)節(jié)噴水和噴氣時主軸旋轉(zhuǎn)速度,范圍:0~3000 rpm;

8. 采用彩色觸摸屏作為人機(jī)操作界面;

9.噴頭噴灑范圍可自動根據(jù)設(shè)定的晶圓大小調(diào)節(jié),無需人工干預(yù);

10.具有氣體壓力和出水壓力調(diào)節(jié)功能;

11.具有氮?dú)廨斎虢涌冢?/P>

12.具有“緊急停止”功能;

13.具有系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控和設(shè)備故障報警功能;

14.適應(yīng)框架(Frame):非標(biāo)方形Frame(客戶提供樣品)

15.電器部分采用SMC、, Misumi、西門子、三菱等國外知名品牌產(chǎn)品,系統(tǒng)可靠;

四、產(chǎn)品功能:

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1.二流體的主要功能是氮?dú)饧蛹兯逑矗逑春笥玫獨(dú)馑Ω伞?/P>

??2.二流體的工作原理:?主要有清洗和甩干兩個功能、?清洗方式是氮?dú)饧蛹兯旌锨逑矗瑲夂退幕旌媳壤强梢哉{(diào)節(jié)、?甩干是用氮?dú)獯蹈伞?/P>

??

五:產(chǎn)品功能照片介紹:

?

★ 二流體自動清洗機(jī)是上海鼎滿機(jī)械設(shè)備有限公司自行研發(fā)及制造,相對于昂貴的進(jìn)口產(chǎn)品,在價格方面有著相對優(yōu)勢。強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊;合理的設(shè)計;讓設(shè)備的使用更人性化,更簡潔化;且設(shè)備中所涉及到的電器配件均采用進(jìn)口以及國內(nèi)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,更好的保障了設(shè)備在使用過程中的出色與安全。