觸摸屏操作高端自動(dòng)擴(kuò)膜機(jī)
一、主要技術(shù)參數(shù)
1).設(shè)備為8寸臺(tái)式設(shè)備，采用雙控一鍵式擴(kuò)膜方式，使用觸摸屏進(jìn)行參數(shù)參數(shù)
設(shè)定；
2).適用于8寸及以下晶圓的擴(kuò)膜工藝；
3).適用于8寸DISCO標(biāo)準(zhǔn)貼片環(huán)（參考客戶提供樣品）。
4).設(shè)備的擴(kuò)膜誤差: ±2mm，擴(kuò)張范圍6寸擴(kuò)張至8寸（max），擴(kuò)張范圍及速度可 調(diào)；
5).設(shè)備為向下擴(kuò)膜方式，配置去靜電裝置（離子棒方式）；
6).擴(kuò)膜盤配置加熱裝置，加熱范圍：室溫～80℃，連續(xù)可調(diào)；控溫精度：≤±2℃；
7).標(biāo)準(zhǔn)用膜為UV膜或藍(lán)膜；
8).設(shè)備外形尺寸約: 長(zhǎng)×寬×高： 500mm×650mm×700mm，重量約：55kg；
9).設(shè)備使用AC220V/50Hz電源，額定功率約：700W；
10).設(shè)備需配置0.4-0.7Mpa壓縮空氣；
11).配置一個(gè)接塵盤；
